爱德华EH250真空泵销售常用指南“本信息长期有效”

制作过流部件非金属材料应选用不与药液发生化学反应，能与输送介质共存，且长期工

作无释出物的材料。

   c.泵用辅助密封材料一般可选用聚四氟乙烯或聚四氟乙烯包覆材料。

   d.医l药用泵严禁使用含石棉纤维的材料。

   e.输送有l机溶剂时，严禁使用橡胶材料。

   f.洁净区内使用的泵，其非过流部件不允许涂漆，因此也应采用不锈蚀的材料。

   ⑤实际使用中的注意问题

   a.区分泵的使用区间，即在洁净区内使用还是在非洁净区内使用。

   b.根据泵输送的介质，将公用工程使用的普通水泵、热水泵、凝水泵及废水处理系统

的泵与输送药液、中间体、纯水、酸碱等工艺介质的泵区分开来.前者可按一般化工装置的泵处理，但对其轴封要求适当提高，以满足医l药装置对环境的严格要求。输送药液、中间体、纯水、酸碱等工艺介质的泵应符合医l药装置用泵的规定.

动量传输泵：这种泵是依靠高速旋转的叶片或高速射流，把动量传输给气体或气体分子，使气体连续不断地从泵的入口传输到出口。具体可分为下述几种类型。（1） 分子真空泵：它是利用高速旋转的转子把能量传输给气体分子，使之压缩、排气的一种真空泵。它有如下几种型式：① 牵引分子泵：气体分子与高速运动的转子相碰撞而获得力量，被送到出口，因此，是一种动量传输泵。②涡轮分子泵：泵内装有带槽的圆盘或带叶片的转子，它在定子圆盘（或定片）间旋转。转子圆周的线速度很高。这种泵通常在分子流状态下工作。（4）扩散喷射泵：它是一种有扩散泵特性的单级或多级喷嘴与具有喷射真空泵特性的单级或多级喷嘴串联组成的一种动量传输泵。③ 复合分子泵：它是由涡轮式和牵引式两种分子泵串联起来的一种复合式分子真空泵。

分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。